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在产品制造过程中,由于各种原因,零部件不可避免的会产生多种缺陷,如印制电路板上出现孔错位、划伤、断路、短路、污染等缺陷,液晶面板的基板玻璃和滤光片表面含有针1孔、划痕、颗粒、mura等缺陷,带钢表面产生裂纹、辊印、孔洞、麻点等缺陷,这些缺陷不仅影响产品的性能,严重时甚至会危害到生命安全,对用户造成巨大经济损失。
传统缺陷检测方法为人工目视检测法,目前在手机、平板显示、太阳能、锂电池等诸多行业,仍然有大量的产业工人从事这项工作。这种人工视觉检测方法需要在强光照明条件下进行,不仅对检测人员的眼睛伤害很大,且存在主观性强、和人眼空间和时间分辨率有限、检测不确定性大、易产生歧义、效率低下等缺点,已很难满足现代工业高速、高分辨率的检测要求。
可以说基于任何图像传感方法(如可见光成像、红外成像、超声成像等等)的自动化检测技术都可以认为是MVI或AVI。当采用光学成像方法时,MVI实际上就变为AOI。因此AOI可以认为是MVI的一种特例。
根据成像方法的不同,AOI又可分为三维(3D)AOI和二维(2D)AOI,三维AOI 主要用于物体外形几何参数的测量、零件分组、定位、识别、机器人引导等场合; 二维AOI主要用于产品外观(色彩、缺陷等)检测、不同物体或外观分类、良疵品检测与分类等场合。
用于表面缺陷检测的AOI系统不能在检测过程中,给被测件表面带来缺陷(如粉尘、划伤、静电等)。因此,对于大型零件(如高世代的液晶玻璃基板、硅片等)的在线检测,常常需要采取气浮支撑、定位与传输机构,运动部件(如轴承等)采用自润滑器件,以及利用FFU风机过滤机组对检测系统进行环境净化,并采取消静电装置,对工件进行防静电处理。
自动光学检测用于检查导体电路图形(蚀刻后)的质量:
将抗蚀膜层退除后,检查导体铜电路图形zui广泛的是使用AOI.在这方面的应用是非常普遍的,要获得图像的清晰度的提高,完全决定于过滤器的适当选择,使铜导体表面呈现出不同的变换。zui多的情况,AOI系统检查蚀刻后的导线宽度,这就很容易涉及到多层板内层的导体表面形态和导线边壁的形态的类似的显现,这种形态决定于蚀刻的工艺或微蚀刻的工艺特性。特别是经过电镀的导体线路的经过蚀刻后形态。
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