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流量控制器在高压条件下如何使用?
质量流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点: 一, 是要选择耐压符合要求的MFC; 二, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 三, 要在MFC气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在MFC下游加背压阀, 稳定反应室和MFC出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。质量流量控制器本身除了测量部分,还带有-个电磁调节阀或者压电阀,这样质量流量控制本身构成-个闭环系统,用于控制流体的质量流量。只要做到以上三点, MFC就能够在高压条件下稳定工作。
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流量控制器容易受这几个方面的影响
质量流量控制器是一种测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿,可根据需要进行流量设定,自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。质量流量计,即MassFlowMeter(缩写为MFM),是一种准确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。可以地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制,是用于对于不同气体的比例控制。直接测量气体的质量流量,输出质量流量信号,不用其他设备。可以的测量微小流量,采用分流装置,又可以测量大流量,而且温度,压力范围很大。
一、压力状况
在加气机中使用的质量流量控制器测量的气体的压力不低于20MPa,压力远远大于大气压。④质量流量控制器度高,其价格也很高,这就要求对其精心维护,如给其配备高质量的稳压电源,对现场的振动及使用条件进行经常检查等,以保证度及仪表的安全。高压改变了振动管的内应力,提高了弹性管的等效刚度,从而使振动管的振动频率增大,两管的相位差减小;气体流经振动管时,存在压降,使得振动管受力不对称,这也对相位差有影响。
二、温度影响
用于加气机的CMF工作温度远低于室温,温度影响必须考虑;介质温度或环境温度变化会改变测量振动管的杨氏模量和影响零漂的结构等各种因素。
三、流速问题
压缩气体密度低,流速快,其影响不能忽略。理想情况下,流速增大则振动管的振动频率减小。通常流体密度变化小,可以认为流速与流体质量流量正比,因此流速的补偿可以转化为流量变化的非线性因素进行补偿。
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如何提高流量控制器的准确度?
提高气体质量流量控制器实用准确度的措施为:
1.针对气体质量流量控制器的实际工艺参数,对该流量计进行“个性化标准”,从而实现在实际使用流量点的一定范围内,该气体质量流量控制器的实际测量误差(与标准值的差)趋于零。
2.把好气体质量流量控制器的安装环节,减少或消除机械应力、机械扭力和机械振动等对该流量计使用的影响。
3.考虑工艺压力、温度等对气体质量流量控制器测量准确度的影响。
4.把好气体质量流量控制器的投用关。
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