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流量控制器基本原理
通过测量气体流经流量器内加热元件时的冷却效应来计量气体流量的。气体通过的测量段内有两个热阻元件,其中一个作为温度检测,另一个作为加热器。温度传感元件用于检测气体温度,加热器则通过改变电流来保持其温度与被测气体的温度之间有一个恒定的温度差。当气体流速增加,冷却效应越大,使须保持热电阻间恒温的电流也越大。此热传递正比于气体质量流量,即供给电流与气体质量流量有一对应的函数关系来反映气体的流量。流量控制器容易受这几个方面的影响质量流量控制器是一种测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿,可根据需要进行流量设定,自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。
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什么是流量控制器
质量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金,制药等。特点:精度高,重复性好。4毫秒到达设定值,从示波器波形图中可以清晰地观察到:50%那段跨度,低于10%和高于90%那两段的跨度则小了很多。
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流量控制器的性能参数
流量控制器的特点是:当自力式流量控制阀进口、出口压差变化时,通过自力式流量控制阀的流量恒定不变。
流量控制器的性能参数有:流量控制精度、工作压差范围、启动压差
工作压差范围指的是当流量控制器进口、出口压差变化在多大范围时,能保持通过流量控制器的流量恒定不变。行业标准中规定工作压差范围0.03-0.3MPa,A类产品工作压差范围达到0.03-0.4MPa。工作压差范围的大小取决于自力式流量控制阀的设计。即气体流过加热元件时将热量带走,带走的热量与气体的流速问和气体的密度成正比。
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