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我们通常称的质量流量控制器,它的全称是热式气体质量流量控制器,英文:Mass Flow Controller(简称MFC);而质量流量计的全称是热式气体质量流量计,英文名:Mass Flow Meter(简称MFM)。它们是一种准确测量气体流量的仪表,其测量值不会因为温度或者压力的变化而产生失准的现象。
松盛测控本体带数显流量控制器/流量计
质量流量计,是一种计量和监测的仪表;而质量流量控制器,不但具有质量流量计的功能,更重要的是:它能够自动地控制气体的流量,也就是说,用户可根据情况的需要,来进行流量的设定,流量控制器则自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离当初的设定值。简单来说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算计连接的自动控制气体的稳流装置。
所以总的来说,一般情况下,仅对气体流量进行计量或监测的话,用质量流量计就能够满足要求;而如果是需要对气体流量进行控制的话,则需要用质量流量控制器。某些测量场合,用二者皆可,如对毛细管流通能力的测量,当定压测流的时候, 用质量流量计; 当定流测压时, 需要用质量流量控制器。注意, 当质量流量控制器处于清洗状态时, 也可以当质量流量计使用, 只不过气压降要比普通质量流量计大一些。
热式气体质量流量控制器与流量计对安装方向的要求
厚礼博生产的AC系列、DC系列以及BDD系列的热式气体质量流量控制器/流量计能满足市面上大多数用户的使用需求,具有体积小,数字化程度高,安装方便,响应速度快,测量准确等优点,能直接测量和控制介质的质量流量,无须温压补偿;设计、选型、安装、使用方便简便,适合各类单一或混合气体流量测量。
热式气体质量流量控制器MFC为Mass Flow Controller的缩写,即质量流量控制器,是带有控制气体质量流量的装置。热式气体质量流量计MFM为Mass Flow Meter的缩写,即质量流量计是不具有控制气体质量流量功能的装置,热式气体质量流量计是用于测量和控制气体质量流量的新型仪表。可用于石油、化工、钢铁、冶金、电力、轻工、环保等工业部门的空气、烃类气体、可燃性气体、烟道气体的监测。
随着生产技术的日益发展和进步,本公司生产的热式气体质量流量控制器与流量计在安装的时候,对安装方向已无特定要求,可任意方向位置安装,如果用户订货时注明安装位置,我公司可依此标定后出厂。
AC系列、DC系列、BDD系列的气体质量流量控制器和质量流量计产品的正常工作压力范围可选:3MPa、5MPa、10Mpa,产品精度优于±1%F.S,响应速度优于2秒且流量值稳定速度也是极快的。阀体过流材质均选用品质良好的316L不锈钢。供电方式为+15V—24V的宽频供电,能满足市面上绝大多数用户的使用要求和使用习惯。DB9针的电气接头,也方便了用户在使用时的拆装。
气体质量流量控制器在真空镀膜机中的使用
真空镀膜机中经常使用到的热式气体质量流量控制器主要是用来控制气体的进气量,把气体流量准确的输入到真空腔室内。AC-S030C系列的气体质量流量控制器主要是用于控制微小流量的气体,采用全新的制作工艺,是在20℃,1个大气压条件下标定的,主要是指气体在1分钟的体积流量单位。
热式气体质量流量计
热式流量计传感器包含两个传感元件,一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值,使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时,电加热消耗的能量,也可以说热消散值,与流过气体的质量流量成正比。
质量流量控制器
蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。 对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且沉积在基片表面,经历成膜过程,形成薄膜。
流量控制器使用注意事项介绍
在使用热式气体质量流量控制器是应注意,额定电源电压为24VDC,功率与量程无关。电压或功率不足可能影响设备工作,如果电源针脚接错可能导致电路板烧坏,无法通讯,请勿在气源关闭的情况下打开控制器设定值,否则阀门会持续发热,影响寿命。本公司的气体质量流量控制器在上游或下游安装时,都没有直管段的要求,可以任意位置安装或倒置安装。
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