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流量控制器用途
1、钢铁厂,焦化厂煤气流量测量;
2、锅炉空气流量,测量二次风量;
3、烟囱排出的烟气流量测量;
4、水处理中瀑气流量测量;
5、水泥,卷烟,玻璃厂生产过程中气体流量测量;
6、压缩空气流量测量;
7、煤气,液化气,火炬气,氢气等气体流量测量。
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什么是流量控制器
质量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金,制药等。特点:精度高,重复性好。若作测脉动流测量,应了解TMF的响应性,以保证能跟随的上脉动的速度变化。
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流量控制器
选择产品和订货时应当注意
注意选择合适的响应时间指标
有的应用系统对MFC的响应时间有较高的要求,用户应根据自己的情况加以考虑。在考虑响应时间指标的同时,还应注意其响应过程及动态特性。
注意对安装位置有无要求
有的厂家的产品要求必须水平位置安装。
注意使用气体和适用范围
MFM/MFC 对使用的环境及介质温度﹑气源压力﹑介质(特别是使用对腐蚀性气体)情况等均有一定适用范围,请注意阅读说明书或向厂家咨询。
注意接头形式
通常有双卡套(Swagelok)和VCR两种接头可以选择, VCR接头性能更好适合于应用。
订货应注明:
产品名称、型号、流量规格、标定气体、使用气体(特别是腐蚀性气体)、接头形式和数量。
流量控制器
怎样进行不同气体的质量流量换算?
产品出厂一般是按氮气标定﹑按氮气流量确定流量规格。用同一规格的MFM/MFC测量不同的气体,当流量检测值相同时,实际的流量值可能不同。我们在说明书中给出了不同气体相对于标定气体(氮气)的质量流量转换系数。
如果您使用的产品是标准出厂产品(按氮气标定显示),而需要知道实际使用气体的质量流量时,先在产品说明书中找到实际使用气体的转换系数。在测量过程中,以此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的质量流量;反之,在确定所购产品的量程时,以实际使用气体的期望流量值除以转换系数,即是相应的氮气标定产品的流量值。质量流量控制器可以用于控制各种气体,包括腐蚀性气体和特殊气体,但是要注意,对于使用腐蚀性气体和特殊气体,需要恰当选择型号和密封材料。
空气、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等气体,其转换系数约为1.0 , 一般可直接用按氮气标定显示的产品,不必换算。
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