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流量控制器的特点
地定量控制流量
质量流量控制器可以地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等特别有用。
适用范围宽
有很宽的工作压力范围,我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量范围,我们的产品流量范围可达0~5 sccm,流量范围可达0~200 slm。通常,模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA,数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口,能非常方便地与计算机连接,进行自动控制。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%, 流量控制范围是满量程的2~ 量程比为-- 50:1, 因此在很多领域得到广泛应用。
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流量控制器的控制响应速度
物理时间常数
物理时间常数用希腊字母Tau来表示,是现今为数不多的用来描述响应时间的标准之一,即:控制器到达设定值某个百分比所需要的时间,被定义为1-1/e, 其中e是作为自然对数底数的无理数,其值为2.72,所以1-1/e即为设定值的63.2%。虽然该定义是一个物理标准,可能说明不了什么问题,因为余下的设定值的36.8%所花费的时间可能多于或少于之前的63.2%。怕粉尘,若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器,造成测量误差,要求在进气口前加装过滤器。从下面示波器截图中可以看到:ALICAT?质量流量控制器仅用了7.4毫秒便到达了设定值的63.2%。
任意设定值百分比变化区域
不少质量流量控制器的技术参数采用设定值某一百分比区间内的变化来定义设备响应速度,比如:从设定值的10%到达90%所需要的时间。由于和后的 10%控制响应曲线变化,由此而得出的控制响应速度可能无法与实际的控制性能等同。不同的介质流经传感器时,振管的主振频率不同,据此解算出介质密度。如下图所示,ALICAT?质量流量控制器用了11.4毫秒到达设定值, 从示波器波形图中可以清晰地观察到:50%那段跨度,低于10%和高于90%那两段的跨度则小了很多。就该图而言,如果按照从设定值10%到达90%所用的时间来定义设备响应速度的话,那么结论是6~7毫秒。
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流量控制器的性能参数
流量控制器的特点是:当自力式流量控制阀进口、出口压差变化时,通过自力式流量控制阀的流量恒定不变。
流量控制器的性能参数有:流量控制精度、工作压差范围、启动压差。
流量控制精度指的是流量控制器的控制流量的误差,行业标准中的误差要求小于等于8%,A类产品的误差小于等于5%。流量控制精度的高低取决于流量控制器的设计、加工和材质。
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流量控制器
一定要按实际使用气体标定显示吗?
不一定。按实际实际使用气体标定显示,显示的是实际气体的流量, 比较直观。流量控制器内存在水汽有多糟排出液体如果您的ALICAT质量流量计、质量流量控制器内渗入了液态物质,切勿置之不理,倘若液体在气路内滞留太久,可能导致不同金属间相互反应。但在很多的实际应用场合,只需要找到一个合适的流量参数并保证测量和控制的重复性,至于该气体的实际质量流量是多少,用户并不是特别关心。在这种情况下,您直接使用厂家的标准出厂产品(氮气标定显示)也可以。当然,如前面所提到的,您在选定流量规格时,需要换算一下,以选择合适的量程。对于某些用户,同一个产品有时可能会通不同的气体,这种情况下,直接使用氮气标定出厂的产品更方便。
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