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什么是流量控制器
质量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金,制药等。质量流量控制器的设定值可以通过模拟电压、模拟电流,或者计算机、PLC提供。特点:精度高,重复性好。
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流量控制器的性能参数
流量控制器的特点是:当自力式流量控制阀进口、出口压差变化时,通过自力式流量控制阀的流量恒定不变。
流量控制器的性能参数有:流量控制精度、工作压差范围、启动压差。
流量控制精度指的是流量控制器的控制流量的误差,行业标准中的误差要求小于等于8%,A类产品的误差小于等于5%。流量控制精度的高低取决于流量控制器的设计、加工和材质。
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如何提高流量控制器的准确度?
提高气体质量流量控制器实用准确度的措施为:
1.针对气体质量流量控制器的实际工艺参数,对该流量计进行“个性化标准”,从而实现在实际使用流量点的一定范围内,该气体质量流量控制器的实际测量误差(与标准值的差)趋于零。
2.把好气体质量流量控制器的安装环节,减少或消除机械应力、机械扭力和机械振动等对该流量计使用的影响。
3.考虑工艺压力、温度等对气体质量流量控制器测量准确度的影响。
4.把好气体质量流量控制器的投用关。
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流量控制器
对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干slm)即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。把好气体质量流量控制器的安装环节,减少或消除机械应力、机械扭力和机械振动等对该流量计使用的影响。
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