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流量控制器的稳定控制时间
由于到达设定值后控制器可能会发生超调,所以通常制造商用到达设定值且稳定后所需要的时间作为设备响应速度,并赋予波形振荡幅度一个容许范围。举个例子, 容许范围2%表示流量波动在设定值的2%以内即为稳定。一般质量流量控制器的精度在0.5%~2%之间,但一些制造商却将稳定容许范围扩大到10%。用户使用MFC时,无论用户工作的反应室是真空还是高压,应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内,并且要求气压要相对稳定。我们认为如果用户要将流量控制在期望的设定值,那么其稳定容许范围也必须落在设备精度范围内。如下面示波器截屏图所示,控制器在27.6毫秒时到达了与设备精度(满量程的1%)等同的稳定容许范围。
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流量控制器内有水怎么办及注意事项
一、当无法忍受渗水后不得不购买一批新的设备,现在就不需要使用这种方法了,当再有液态氨进入到质量流量计或质量流量控制器内部时,只需简单地用高压氨气冲洗管路后进行消毒即可。
二、排除液体的方法是怎样的呢?液体中含有悬浮颗粒物,抽湿过程可能会留下固体颗粒,从而导致质量流量计或质量流量控制器内留有残渣。如果设备是316L不锈钢结构的耐腐蚀系列,那您大可高枕无忧,因为耐腐蚀系列的结构与液体流量计、液体流量控制器基本相同,可较大的程度地允许液体渗入。随着自动化水平的提高,许多生产过程都对流量测量提出了新的要求。
质量流量计在平时使用的时候需要注意哪些事项呢?
一、在使用质量流量计的时候需要防止人为的断电以及拆线,因为采取断电以及拆信号线的方法会使得设备短时间不计量还会导致计量纠纷。
二、设备在使用条件上必须进行零点标定,该设备时属于在线使用高精的测量仪表,长期使用时一定要定期的进行标定。
三、超过质量使用范围会导致仪表测量的精度下降,还会导致仪表损坏等。
四、设备的精度高,所以价位也会高,并且还需要精心的维护,在振动以及使用条件进行经常检查等,确保精度以及仪表的安全。
五、设备的应用成功与否跟安装是有直接关系的,,需要整齐的安装外,还需要减少振动的影响。
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流量控制器
气体质量流量单位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分钟标准升)来表示。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K)。若采用恒定温差法,即保持两点温差不变,则通过测量加热的功率也可以求出质量流量。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。
流量控制器
质量流量计 / 质量流量控制器的主要优点是什么?
测量控制的自动化
质量流量计 / 质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。五、设备的应用成功与否跟安装是有直接关系的,,需要整齐的安装外,还需要减少振动的影响。通常, 模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。
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